Chynhyrchion

Cartref Chynhyrchion Peiriant sgleinio Manylion

Semi - Peiriant sgleinio mecanyddol cemegol awtomatig

Mae'r system CMP hyblyg hon yn darparu manwl gywirdeb uchel -, - effeithlonrwydd sengl - sgleinio ochr ar gyfer arwynebau planar cyfochrog ar draws yr holl ddeunyddiau cydnaws.

Anfon ymchwiliad

Swyddogaeth

Nghais

Mae'r peiriant sgleinio mecanyddol cemegol awtomatig Semi - yn perfformio CMP ochr - ochr ar wafferi is-200mm a deunyddiau brau caled, gan gynnwys:

Prosesau lled -ddargludyddion: SI CMP, CMP ocsid (BPSG, TEOS, THOX), CMP metel (W, CU), ffilmiau dielectrig, a chymwysiadau STI

Deunyddiau Arbenigol: carbid silicon (sic), wafferi saffir, wafferi germaniwm, lithiwm niobate, a swbstradau gwydr

Mae'r system CMP hyblyg hon yn darparu manwl gywirdeb uchel -, - effeithlonrwydd sengl - sgleinio ochr ar gyfer arwynebau planar cyfochrog ar draws yr holl ddeunyddiau cydnaws.

Semi - Peiriant sgleinio mecanyddol cemegol awtomatig

SAP200-S

Rhif model		SAP200-S
Disg sgleinio	Diamedrau	Φ510mm (20 '')
	Rhifen	1
	Cyflymder disg is	0-200rpm
pen caboli	Prosesu darnau gwaith	4 ''/6 ''/8inch
	Dull Pressurization	Bag Awyr Swyddogaeth Pwysedd Cefn Pwysedd Hyblyg (Pwysedd 3-Parth)
	goryrru	0-200rpm
	Rhifen	1
Mynegai Precision	Mae'r pen isaf yn neidio	Llai na neu'n hafal i 0.01mm
Mynegai Precision	Gwastadrwydd y plât isaf	Llai na neu'n hafal i 0.008mm
Maint offer (l * w * h)		2150mm1100mm2150mm
Pwysau dyfais		2000kg

Tagiau poblogaidd: Semi - Peiriant sgleinio mecanyddol cemegol awtomatig, China Semi - Gwneuthurwyr peiriannau sgleinio mecanyddol cemegol awtomatig, cyflenwyr, ffatri

Pâr o:

Nesaf:

Peiriant sgleinio ochr - ochr

Fe allech Chi Hoffi Hefyd

Anfon ymchwiliad